5月9日音尘，据集微网报谈，“据报谈，上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)自主研发的系列28nm浸没式DUV光刻机，近日完成首批批量委用，插足量产工艺考证阶段。”在该音尘发布之后，坐窝激励了业内的热议。关联词，芯智讯在过程与光刻机及晶圆制造企业琢磨东谈主士疏浚后发现，该著作里面安分容似乎存在不少事实问题。1、集微的报谈并未给出具体的信源，只说“据报谈”，到底是据哪家简直的媒体报谈，根柢没提。这不稳健这种新闻的严肃性。

2、报谈称“2026年1月，上海微电子在长三角半导体产业峰会上，初次官宣SSA800系列已毕全面量产。”

关联词，这个所谓的“长三角半导体产业峰会”根柢莫得任何巨擘媒体的琢磨报谈，也查不到具体的举办时期、地点、主理方及与会嘉宾和企业。更别说什么“上海微电子官宣”了，上海微电子的官方从未厚爱涌现过上述音尘。

固然网上约略找到本年1月一些自媒对于“长三角半导体产业峰会”的音尘，关联词也一起皆是与“上海微电子官宣SSA800系列量产”绑定的信息。那时，笔者也琢磨注到过这个音尘，关联词以为是“小作文”，市集也有过一轮基于这个音尘炒作光刻机主意股。

3、报谈还指出“2026年3月，在SEMICON China2026国外半导体博览会上，上海微电子初次公开展示了该机型。”

关联词，芯智讯在SEMICON China2026国外半导体博览会有去过上海微电子的展台，现场根柢就莫得展示所谓的样机。而况在展会时期和展会收尾后的一段时期，也根柢莫得琢磨媒体报谈此事。

△芯智讯在SEMICON China2026展会上海微电子展台拍摄的像片

4、报谈称“SSA800系列剿袭193nm ArF浸没式光刻手艺，单次曝光原生支柱28nm制程，开云官方体育app官网可通过多重曝光工艺默契已毕 14nm 乃至更先进的工艺坐褥。设立套刻精度截止在2.3~2.5nm，量产良领导会在90%~95%区间，每小时可科罚150片晶圆。”

据芯智讯了解，SSA800实质上等于近几年市集一直神话的国产“28nm光刻机”，是一款193nm ArF浸没式光刻机，对地点是ASML TWINSCAN NXT:1950i。尔后者的专用卡盘套刻精度为2.5nm，夹杂匹配套刻精度为3.5nm，每小时可科罚200片晶圆。是以，说SSA800系列套刻精度截止在2.3~2.5nm，每小时可科罚150片晶圆，应该是大差不差。

不外，说SSA800系列的“量产良领导会在90%~95%区间”似乎是有点离谱了。因为光刻机自己并莫得所谓的“量产良率”的说法。

一位光刻机厂商里面东谈主士对芯智讯直言：“这是假音尘，光刻机那处来的良率。”即便说的是在产线上替代ASML光刻机后芯片最终产出的量产良率也很夸张。

要知谈台积电的28nm是在2011年量产的，之后履历较长的良率爬坡阵痛期。2012年上半年，英伟达和高通皆曾公开挟恨良率不及、产能吃紧。到2012年8月，中国台湾媒体财征引供应商音尘称良率已普及至跳动80%。

一位国内晶圆代工场里面东谈主士告诉芯智讯，现在SSA800系列并未插足国内的营业化晶圆厂，似乎已经在“ICRD”进行测教训证。是以何来的量产批量委用，何来的“90%~95%”量产良率？

期盼国产光刻机得到冲突，是每一个热心中国科技发展的东谈主最朴素的情谊。咱们渴慕看到“卡脖子”清单上的形态被一项项划掉，也渴慕听到国产设立在先进制程上得到冲突的音尘。关联词，这种渴慕越是热烈，就越应该守住感性的底线。差错的、自嗨的音尘，伤害的是公众对确切证据的判断力，也龙套了产业链高卑劣一步一个脚印攻坚的严肃性。真确的解围，从来不需要靠差错的“放卫星”来诠释注解我方，时期会给出最憨厚的谜底。

剪辑：芯智讯-浪客剑开云中国体育2026世界杯官方app

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